北齐
乾明元年(560年) 僧稠圆寂，有《止观法》行世。
北周
承光元年(577年)周武帝下诏毁佛法，少林寺被废。
大象二年(580年)周静帝下诏重兴佛道二教。少林寺复立，更名陟岵寺。
隋
开皇元年(580年) 恢复少林寺名。
开皇中(581-600年)隋文帝诏赐少林寺柏谷坞地一百顷。
大业十四年(618年) 天下大乱。少林寺被山贼所劫，僧徒拒之。塔院被焚，灵塔尚存。
唐
武德四年(621年) 四月廿七日，少林寺上座善护等十三僧，联合伪轘州司马赵孝宰等翻轘州城，执王世充侄王仁则归唐有功。三日后，秦王李世民派员至寺颁赏。
武德五年(622年) 少林寺因居伪郑之地，被废省。
武德七年(624年) 寺僧不服减省上诉。七月，敕少林寺依旧置立。
武德八年(625年) 二月，重赐少林寺柏谷坞地四十顷，水碾一具。
咸亨中(670-674年) 高宗巡幸少林寺，御题《金字般若碑》，留幡像及施物。
弘道元年(683年) 禅宗大师法如入少林寺。九月廿五日，武则天遣武三思送金、绢等物至少林寺，立《大唐天后御制愿文》，为亡母杨氏造功德。
嗣圣元年(684年) 高宗薨，武则天至少林寺为高宗造功德。
